激光腐蝕監(jiān)控儀應(yīng)用過(guò)電壓保護(hù)器
發(fā)布人：管理員 發(fā)布時(shí)間：2014-2-10
福建光學(xué)儀器廠和福建省光學(xué)技術(shù)研究所聯(lián)合研制成功FJ-1型激光腐蝕監(jiān)控儀，應(yīng)用過(guò)電壓保護(hù)器，最近通過(guò)了技術(shù)鑒定。該食品利用激光干涉法，在線****監(jiān)控硅晶片表面膜或其它金屬片膜的腐蝕過(guò)程與腐蝕終點(diǎn)。由于監(jiān)控過(guò)程是非接觸的，所以對(duì)硅片無(wú)破壞性。儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、性能穩(wěn)定可靠，測(cè)量精度高，可用于腐蝕監(jiān)控，也能用于等離子體刻蝕。是一種監(jiān)控半導(dǎo)體器件、集成電器制作過(guò)程防止硅片腐蝕不足或過(guò)腐蝕的重要檢測(cè)儀器
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